1、提出了一种提高极值法监控薄膜淀积层厚精度的方法。
2、这种淀积反应器很容易达到适应125或150mm的基片.
3、揭示了常规热丝法薄膜淀积工艺中热钨丝易断裂的原因。
4、一种化学汽相淀积过程,发生在适度的温度下.
5、结果表明,离子辅助淀积对金属膜性能的改善与对介质膜性能的改善一样显著。
6、第8层古土壤特殊的厚层淀积代表了气候的多次变化和多个成壤期。
7、严酷的,枫的颜色,领略岁月的磨砺,寒霜的敲击坚强如铁,饱经生命的惊涛骇浪,从容如磐,飞跃梢头那鲜红的高度。霜染的两鬓,淀积着,生命的成熟。
8、其中着重描述了反应腔对反应温度,反应压力和气体流量的控制方法,以及测量设备对淀积薄膜性能的测量原理。
9、通过相图讨论了系统压力、激活温度和氟含量对低压金刚石薄膜淀积条件的影响,可以为实验研究提供理论指导。
10、目标是通过研究反应流量、表面迁移率及反应能量等分子构成级的薄膜淀积工艺,克服对高热能输入的依赖。